面向半导体先进制程的全自动原子力轮廓仪（AAFM），主打 CMP 平坦化与蚀刻深度的高精度、高通量在线计量，同时支持缺陷复检与 3D 晶圆 / 掩模表征，为先进节点良率控制与研发提供 NIST 可追溯的亚纳米级数据。
全自动in-line原子力显微镜
- 产品品牌：
- 瑞鼎智造
- 产品产地:
- 中国
- 应用领域:
- 半导体先进制程、缺陷复检与分类、3D 晶圆 / 掩模映射与套刻对齐、研发与工艺开发等
全自动in-line原子力显微镜（AFM）是面向工业高容量生产环境与先进科研场景开发的纳米尺度表征与计量设备，核心涵盖InSight AFP、InSight CAP等明星系列产品，凭借的针尖扫描技
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