设备功能性描述：

         二维材料纳米力学与电学多参数联用测试仪可对二维材料的弹性模量、硬度、层间范德华力、剥离能、粘附力等力学参数进行定量测量，也可对二维材料的局部静电分布、表面电势分布、功函数、压电响应特性等电学参数进行纳米尺度表征，并可实现在同一区域同时获取形貌、力学、电学等多维信息。该设备配备可编程电动样品台，较大兼容直径150 mm的晶圆级样品，可编程多点自动测量功能支持在整片晶圆上预设多个测试点位，实现全表面力学与电学性能的高通量、系统性均匀度表征。同时，该设备支持纳米刻蚀、纳米操纵与表面功能化修饰等原子级精准加工操作，可满足课题组在二维材料表面加工方面的研究需求。此外，该设备在摩尔超晶格表征方面具有专门的优化，与课题组转角二维材料研究的核心需求高度契合。

技术参数：

1.扫描器：

1.1XYZ 三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围≧90微米；Z方向扫描范围≧10微米.

1.2Z方向噪声水平≦0.035 nm；XY方向噪声水平≦0.15nm。

1.3扫描过程中由压电陶瓷带动探针进行XYZ三个方向的移动。

2.样品台：

2.1样品台尺寸≧150mm；能放置较大样品高度≧10mm；样品台自动移动XY行程≧100x100mm。样品台可真空吸附样品，并且可360度旋转。

2.2样品台可实现对多个样品以及多个测试位点的自动移动、自动测试功能。单次可以支持≧8个测试位点。

2.3样品台托盘采用可拆卸设计。

3.控制器：

3.1每条扫描线可获得的最多数据点数≧16000。

3.2 ≧8个通道可同时获得≧5000×5000数据点。

3.3 提供智能扫描模式：采用以正弦波驱动压电陶瓷做力曲线的皮牛级力作反馈进行表面成像，且力曲线频率≧2000Hz。用户只需要选择扫描范围，系统就能够在扫描过程自动调节≧3个参数。

4. 纳米电学测试模式

4.1 提供静电力测试功能，表征样品表面形貌以及静电力相位分布图。

4.2提供磁力测试功能，获得样品面内方向以及面外方向磁畴分布相位图。

4.3 提供表面电势测试功能，获得表面形貌及表面电势分布图。

5. 纳米力学测试模式

5.1 提供快速力谱功能，可以实现高速力谱测试功能，速度≧300Hz。

5.2 提供横向力测试功能，同步获得表面形貌以及摩擦力相对大小分布图。