设备详情

大平台白光干涉仪
产品型号
Ruiding-Contour auto1
产品优势
高性能布鲁克纳米级三维侧头
AOI自动光学设别
自动吹扫单元

产品描述

Ruiding-Contour auto1 是基于布鲁克 Contour X 系列的大平台白光干涉仪,继承了 Contour X 系列的所有技术参数,并在此基础上进行了多项定制化设计,以满足大尺寸样品的测量需求。该设备特别适用于重达 20kg、厚度在 150-300mm 之间的样品表面形貌测量。


特点

  1. 光源与成像原理

    • 白光干涉原理成像:采用白光和绿光 LED 双光源,适用于精密加工表面、薄膜和摩擦学应用分析。

  2. 工作模式

    • 垂直扫描干涉测量模式(VSI):适用于大范围、快速扫描。

    • 相移干涉测量模式(PSI):适用于高精度、小范围测量。

    • 高分辨模式(USI):适用于超高分辨率测量。

  3. 滤镜与分析工具

    • 最广泛的滤镜和分析工具选项:支持粗糙度和关键尺寸测量分析,满足多种应用需求。

  4. 稳定性与重复性

    • 集成防震设计:确保更高稳定性和重复性,适合高精度测量环境。

  5. 标准与报告

    • 满足多种国际标准:包括 ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287 等,提供定制化分析报告。

  6. 样品台设计

    • 全自动大样品台:支持 XYZ 轴全自动样品台,大视场观测,图案识别与拼接,吹气单元和真空吸附等功能,可随心定制。


技术参数

  • 样品重量:较大 20kg

  • 样品厚度:150-300mm

  • 光源:白光和绿光 LED 双光源

  • 工作模式:VSI、PSI、USI

  • 标准支持:ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287

  • 样品台:全自动 XYZ 轴样品台,大视场观测,图案识别与拼接,吹气单元,真空吸附


应用领域

  • 精密加工表面分析:适用于高精度加工表面的形貌测量。

  • 薄膜分析:用于薄膜厚度和表面形貌的测量。

  • 摩擦学应用:适用于摩擦学研究和分析。


定制化设计

  • 大尺寸样品测量:特别设计用于大尺寸样品的测量,满足客户对大尺寸样品的高精度测量需求。

  • 全自动化操作:实现全自动样品台操作,提高测量效率和精度。


总结

Ruiding-Contour auto1 是一款功能强大、定制化程度高的大平台白光干涉仪,特别适用于大尺寸、高重量样品的表面形貌测量。其多种工作模式、广泛的滤镜和分析工具选项,以及高稳定性和重复性,使其成为精密加工、薄膜分析和摩擦学应用领域的理想选择。


参数

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