三维表面轮廓测量和粗糙度测量,即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测

三维表面轮廓测量和粗糙度测量,即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。薄膜和厚膜的台阶高度测量划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量空间分析和表面纹理表征平面度和曲率测量二维薄膜应力测量微电子表面分析和MEMS表征表面质量和缺陷检测



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