DSA-50主动减震台

应用领域

· 精密光学测量：白光干涉轮廓仪、激光干涉仪、台阶仪

· 微纳力学测试：键合能测试仪、粘附力测试仪、纳米压痕仪

· 半导体计量：晶圆缺陷检测、掩模量测、三维形貌检测

· 显微成像：原子力显微镜（AFM）、共聚焦显微镜、扫描探针显微镜

· 微纳加工：聚焦离子束系统、电子束曝光机、精密光刻设备

典型适配设备 RDINGIM CONTOUR系列白光干涉轮廓仪、DTS键合能/粘附力测试系统、各类品牌AFM/SPM、小型激光干涉仪等。

核心优势

01 并联混合隔振

钢弹簧被动单元与VCM主动单元并联于同一载荷路径：被动单元承载设备重量，固有频率低至5Hz，天然衰减中高频振动；主动单元实时输出反相力，精准抵消残余振动。二者协同工作，兼顾高承载能力与超高隔振精度。

02 六自由度全维控制

覆盖X/Y/Z平动+绕X/Y/Z转动共6个自由度，协同抑制平动振动与俯仰、偏航、滚摆等角振动。支持大尺寸、偏心负载自动解耦运算，各向稳定性一致，避免倾斜振动干扰光路与力路。

03 自适应前馈控制

内置智能算法自动识别周期性扰动源（真空泵、风机、旋转台等），提前输出反相补偿力。相比纯反馈控制，大幅提升低频扰动抑制效果，对固定频率振动实现精准抵消。

04 全自动台面调平

内置高精度位置传感与调平执行机构，一键自动完成台面水平校准，无需人工手动微调；长期运行可自动补偿水平偏移，保证设备安装姿态始终精准。

05 桌面式即装即用

无需改造地基，直接放置于实验室桌面即可使用。驱动、传感、控制单元全集成于平台内部，无额外控制柜，布线简洁，快速部署，适配现有工位布局。

工作原理

采用“被动托底—主动精修—前馈预判”三级协同机制，被动与主动单元并联作用：

1. 被动承载单元 高性能圆柱螺旋钢弹簧搭配阻尼结构，额定负载下垂向固有频率5Hz，天然衰减中高频振动，稳定承载设备重量。

2. 主动执行单元 每自由度配置高精度音圈电机，基于安培力原理输出平滑无纹波的反相补偿力，毫秒级响应，毫牛级力分辨率，实时抵消平台残余振动。

3.智能控制单元 多核实时控制器搭配高精度振动传感器阵列，采用六自由度解耦算法，结合闭环反馈与自适应前馈，实时解算更优补偿力；内置振动状态监测与自校准功能，长期运行免人工调校。