RUIDING-CONTOUR AUTO1 大平台光学轮廓仪是一款专为大尺寸样品设计的高精度测量设备，广泛应用于半导体制造、材料研究、精密机械加工等领域。该设备结合了布鲁克CONTOUR X系列的先进技术，具备高精度、高效率、多功能等特点，能够满足科研和工业生产中的多样化需求。
1.技术优势
高性能布鲁克纳米级三维测头：提供纳米级精度的表面轮廓测量。
AOI自动光学识别：自动识别样品特征，提升测量效率。
自动吹扫单元：确保测量环境的洁净，减少杂质干扰。
2.核心功能
创新双光源成像：集成白光和绿光LED双光源，适用于不同材料的表面形貌测量。
白光：宽光谱特性，适用于精密加工和科学研究。
绿光：高对比度和长相干长度，适用于薄膜测量和透明材料检测。
多元工作模式：
VS1 垂直扫描干涉测量：适合大范围、高精度的表面形貌测量。
PS1 相移干涉测量：实现纳米级甚至亚纳米级的表面形貌测量。
US1 通用型自适应扫描模式：结合VS1和PS1，适用于复杂测量需求。
专业工具助力：配备多种专业滤镜和分析工具，提升测量精度和效率。
粗糙度测量：按国际标准算法计算参数。
关键尺寸测量：利用边缘检测和图像分割技术精准测量。
先进防震设计：集成防震技术，确保在震动环境中稳定运行，避免测量误差。
定制权威报告：依据ISO25178等国际标准生成定制报告，满足科研、认证、生产监督等多种场景需求。
大样品台定制：提供全自动大样品台尺寸定制方案，适配各类大小和厚度的样品，五轴全电动控制，提高测量准确性和重复性。
3.定制化设计
XYZ轴全自动样品台：实现样品在三维空间的自动定位，减少人为操作误差。
大面积测量与图案识别拼接：提供广阔的观测视野，配合先进的图案识别和拼接技术，确保数据的全面性和准确性。
吹气单元与真空吸附：吹气单元清除样品表面灰尘和杂质，真空吸附装置稳固固定样品，确保测量结果的可靠性。
4.卓越硬件
光学镜片组：超低偏差和色散系数，保证光线传播稳定，实现高分辨率成像。
高亮度、高稳定性LED光源：光谱纯度高，减少杂散光干扰，提供高质量原始数据。
低噪音、高灵敏度CCD探测器：捕捉微弱光信号并生成图像。
5.白光干涉技术的内在优势
垂直分辨率：极限分辨率为0.1nm，与视场和工作距离无关。
横向分辨率：依据SPARROW准则更高可达0.38μm。
普适性：适用于各种不同样品表面，较大工作距离，简便而安全。
6.革新的倾斜测头设计
传统样品台倾斜方式：需要调整五个运动轴，操作复杂。
革新的倾斜测头设计：在移动时保持测试位置准确成像，无需担心调整样品倾角时视场移动，实现更轻松、快速、自动测量。
7.技术参数
较大扫描量程：≤10mm
垂直分辨率：<0.1nm
水平分辨率：0.38μm (Sparrow criterion); 0.13μm (with AcuityXR)
台阶高度准确性：<0.75%
台阶高度重复性：<0.1% 1 sigma repeatability
较大扫描速度：37 μm/sec (with standard camera)
样品反射率范围：0.05% to 100%
较大样品倾角：<40°(shiny surfaces); <87° (rough surfaces)
样品高度：100 mm -300mm, 接受定制化
样品重量：可达100-150kg (可评估更重样品方案的可行性)
XY 样品台：150 mm-900mm, 接受定制化, 全自动, 手动可选
Z轴聚焦：100 mm (4 in.)
倾斜功能：±7°available on stage or automated in head (接受定制化)
其他功能：大视场观测, 图案识别, 图案拼接, 吹气单元, 真空吸附等定制化设计
光学计量模块：Patented dual-color LED illumination; Single-objective adapter; Optional automated or manual turret; Optional motorized or manual discrete modules
物镜：Parfocal: 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X; LWD: 1X, 1.5X, 2X, 5X, 10X; TTM: 2X, 5X, 10X, 20X; Bright Field: 2.5X, w5X, 10X, 50X
放大器：0.55,0.75X, 1X 1.5X, 2X
摄像头：Monochrome (standard) or color (optional); 5 MP with 1200x1000 data array
软件系统：Vision64 and VisionXpress Analysis Software, Upper computer software on Windows 10 OS; 64-bit
可选软件包：USI; Advanced PSI; Production Mode; VisionMAP; AcuityXR; Optical Analysis; SureVision; Film; MATLAB; SDK, TCP/IP
校准：Via NIST/PTB traceable step height and lateral ruler standards
设备尺寸：标准 (201016301750mm), 根据样品尺寸是0.9*0.9m设计的情况下
重量：>1800 kg (随样品尺寸和厚度, 重量会有变化)
保修期：12 months
8.应用场景
半导体制造：高精度表面形貌测量，确保芯片制造质量。
材料研究：纳米级表面分析，支持新材料研发。
精密机械加工：复杂形状物体的关键尺寸测量，提升加工精度。
